本发明涉及一种砷烷/磷烷废气处理装置及砷烷/磷烷废气处理方法，属于废气处理技术领域。本发明的砷烷/磷烷处理装置，包括储液箱、设置于储液箱上并与储液箱连通的进样装置、净化塔、喷淋系统:进样装置包括两端开口的连接器，连接器的顶端设有进气口和进液口，连接器通过储液箱的上部空间与净化塔连通;喷淋系统包括与储液箱连通的循环泵、连通管道、第一喷头区、第二喷头区:净化塔的底部结构为带孔的档板:净化塔内设有第一隔板和第二隔板将净化塔分割为一级净化塔和二级净化塔;一级净化塔和二级净化塔内均装有填料;一级净化塔中的填料的上方设有第一喷头区;二级净化塔中填料的上方设有第二喷头区。本发明的处理装置对废气的处理效率高。
