一种磷烷粉尘洗涤装置

本发明公开了一种磷烷粉尘洗涤装置，属F气气体院余杂技术领域;包括箱体、第一液体输送设备和第一气液混合设备;第一液体输送设备的进液端与箱体连通;第一气液混合设备的进气端用于输送含有粉尘的待处理磷烷气体，第一气液混合设备的进液端与第一液体输送设备的出液端连接，第一气液混合设备的出液端伸入箱体内液体的液面下方;箱体用于盛放不溶解磷烷的液体，箱体上开设有用于将处理后的磷烷气体输出的出气口;本发明可有效去除磷烷气体中混合的颗粒物等杂质，提高磷烷气体的纯度，整个清洗过程不涉及化学反应，工艺简单，磷烷溢出风险低，且可持续性运行。